Phoenix 目前的工程樣品采用 0.22 英寸面板,具有 2K 分辨率和 5.2um 子像素間距。一個 2X2 的子像素陣列組合成一個 5um 間距的白色像素,具有 4 個獨(dú)立的電流驅(qū)動通道。其中三個通道分別與 AlInGaN 藍(lán)色發(fā)射器、AlInGaN 綠色發(fā)射器和 AlInGaP 紅色發(fā)射器連接。最重要的是,這些半導(dǎo)體發(fā)射器垂直堆疊并同軸排列,如圖 1 中的截面 SEM 圖像所示。這種獨(dú)特的發(fā)射器排列允許在垂直方向上實(shí)現(xiàn)高 WPE 和高度聚光。在未來的生產(chǎn)階段,JBD 計(jì)劃將 0.3 英寸面板作為標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品,具有 4K 分辨率和 2um 子像素間距,相當(dāng)于 2K 分辨率,白色像素間距為 4um。
圖 1:(a)全彩晶圓;(b)5um 彩色像素間距陣列的 45 度傾斜 SEM 圖像;(c)多級互連技術(shù)的聚焦離子束切割和橫截面 SEM 圖像,未顯示電氣連接時(shí)間表
迄今為止,使用量子點(diǎn)(QD)進(jìn)行顏色轉(zhuǎn)換仍然是實(shí)現(xiàn)單片 RGB 顯示的最常用方法。這種向下轉(zhuǎn)換方法目前在可實(shí)現(xiàn)最大亮度和器件壽命方面受到限制,因?yàn)?QD 壽命會隨著泵浦通量密度和 MicroLED 結(jié)溫的增加而顯著降低。其他基于外延的三色集成技術(shù),例如多色外延層、選擇性區(qū)域外延、再生、納米結(jié)構(gòu)和 3D 結(jié)構(gòu),尚未在像素間距小于 10um 的情況下生產(chǎn)出更好的原型。
現(xiàn)有的全彩色 MicroLED 顯示器是通過將三個獨(dú)立的紅色、綠色和藍(lán)色面板與 X 立方體棱鏡相結(jié)合來實(shí)現(xiàn)的。單面板單片 RGB 微型顯示器最終是首選,因?yàn)樗梢詫?shí)現(xiàn)更大的視野和更小的光引擎外形。此外,由于簡化的系統(tǒng)級集成到 AR 眼鏡上減少了光學(xué)損耗,因此可以實(shí)現(xiàn)更高的波導(dǎo)準(zhǔn)直效率。然而,由于將三種顏色集成到單個晶圓上相關(guān)的技術(shù)挑戰(zhàn),用于 AR 應(yīng)用的基于 MicroLED 的超細(xì)間距(
利用其在晶圓級鍵合和薄外延技術(shù)方面的專業(yè)知識,JBD 使用其專有的多層互連技術(shù)成功開發(fā)了全彩顯示器。原生氮化物和磷化物外延以及芯片工藝(如 Mesa 蝕刻、鈍化和微透鏡),基于 JBD 屢獲殊榮的 "SID 2023 年度顯示器 " 單色面板(目前正在批量生產(chǎn)),從而確保其可制造性、高插座效率、可靠性和窄光束準(zhǔn)直得以保持。該技術(shù)的一個關(guān)鍵特點(diǎn)是總堆疊厚度小于 5um,這是有史以來最薄的,可以最大限度地減少腔內(nèi)的吸收損耗。再加上能夠以高通量密度操作原生彩色光源的能力,使用該平臺可以實(shí)現(xiàn)高達(dá) 100 萬尼特的白平衡亮度。全原生色彩解決方案的另一個顯著特點(diǎn)是能夠在半峰全寬(FWHM)光譜下實(shí)現(xiàn),從而獲得高色彩質(zhì)量和色彩純度的圖像。圖 2 顯示了分別針對紅色、綠色和藍(lán)色像素實(shí)現(xiàn)的 15nm、30nm 和 18nm FWHM 值。
圖 2:JBD 的原生彩色 5.0um 間距單片式 RGB 屏具有窄 FWHM 的典型紅、綠、藍(lán)電致發(fā)光光譜。
JBD 創(chuàng)始人兼首席執(zhí)行官李啟明表示:" 由于 JBD 科學(xué)家和工程師的辛勤工作,我們?nèi)〉昧诉@一工程壯舉。Polychrome 平臺提供改變游戲規(guī)則的創(chuàng)新解決方案,并為沉浸式 AR 眼鏡打開大門。AR 眼鏡成為下一個計(jì)算平臺的前景從未如此光明,我們很高興能與客戶一起踏上這段旅程。"
JBD 將于 2024 年上半年展示原生彩色單片多色投影儀的原型。這些面板計(jì)劃于 2025 年投入量產(chǎn)。